硒化氢的性质及制备方法

摘要：

　　硒化氢用于集成电路制造过程中的原材料、掺杂气体和还原气。由硒化氢直接与锌合成的硒化锌是重要的红外光学材料之一，是高功率CO2激光器系统中光学器件的首选材料。文章介绍了硒化氢的几种制备方法并对每种方法做了评价。

关键词： 硒化氢 制备工艺 性能评价 产品质量

作者: XIA Shanlin 夏山林

作者单位: Zhonghao Guangming Research & Design Institute of Chemical Industry Co.,Ltd.,Dalian 116031,China 中昊光明化工研究设计院有限公司,辽宁大连甘北路34号116031

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十六次年会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 68-71

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）