二维气相色谱技术在电子工业用全氟丙烷分析中的应用

摘要：

　　采用双通道二维气相色谱技术和脉冲氦离子化检测器相结合，完成了电子工业用全氟丙烷气体中微量杂质含量的测定。利用一根填充柱作为预柱，分离主组分和杂质组分，两根并联的填充柱作为分析柱完成杂质组分的分离，并通过阀事件时间程序的优化实现了一次进样完成全氟丙烷中微量氢、氧(氩)、氮、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳和六氟乙烷杂质分析，结果表明该方法具有重复性好、检测限低、分析时间短、操作方便等特点。

关键词： 全氟丙烷气体 微量杂质 含量测定 二维气相色谱技术

作者: LIN YuWei 林宇巍 CHEN Rong 陈熔 ZHOU Zhen 邹震 CHEN Hua 陈华

作者单位: China National Chemical Industrial Gas Quality Supervison and lnspeeton Center,Fuzhou Fujian 350008 国家化学工业气体产品质量监督检验中心,福建福州350008

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十六次年会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 97-101

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）