应用PDHID色谱仪检测超高纯氨(7N)的方法研究

摘要：

　　应用PDHID气相色谱仪的后切割背景气放空的气路流程，采取背景扣除、基线扣除等手段，排除空气微渗透的影响，以外标法检测超高纯产品氨(7N)中10ppb量级的H2、O2、N2、CO和CO2等杂质气体的方法进行了实验研究。

关键词： 超高纯氨气 杂质含量 检测技术 PDHID气相色谱仪

作者: ZHANG Fukang 章复康 CHEN Hexiang 陈荷香 ZHANG Tianlong 张天龙 WANG Hai 王海 WANG Lei 王磊 HUANG Junpin 黄军聘 ZHU Weili 朱威莉

作者单位: Shanghai Kechuang Chromatograph Instruments Co.,Ltd.,Shanghai 201821,China 上海科创色谱仪器有限公司,上海201821 Testing Center,Suzhou Jinhong Gas Co.,Ltd.,Suzhou 215152,China 苏州金宏气体股份有限公司检测中心江苏苏州215152

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十六次年会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 119-123

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）