电子特气中痕量水分测量方法

摘要：

　　随着电子工业的发展，对电子特气质量的要求越来越严格。而作为重要的质量控制指标，如何准确可靠的测定电子特气中痕量水分是电子特气分析中所要面对的主要问题之一。本文讨论了对电子特气中痕量水分的测量方法，包括取样方法和分析设备等。

关键词： 电子特种气体 质量控制 痕量水分 测量方法

作者: 高艳秋

作者单位: 上海市计量测试技术研究院,上海,201203

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十六次年会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 124-126

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）