背压氦离子气相色谱系统在高纯气体分析中的应用

摘要：

　　介绍了一种新型的利用背压气相色谱系统和氦离子化检测器(PDHID)来对高纯气体中痕量杂质的检测方法。经过实验证明，该方法能够提高分离度和氦离子化检测器的灵敏度，其检测限达到0.45 ppb(以甲烷计)，目前市场上商品化高纯气体检测方法提高了近一个数量级，可以轻松应对7N级以上高纯气体产品的分析。

关键词： 高纯气体分析 痕量杂质 检测技术 背压氦离子气相色谱系统

作者: 杨任 杨四川 王涵文

作者单位: 上海仪盟电子科技有限公司 宝钢集团环境分析检测中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十六次年会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 154-157

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）