扫描探针显微镜针尖电容的测量与应用

摘要：

　　本文基于扫描探针显微镜(SPM)建立了微区电容的低频测量系统,最小测量电容为30aF,工作频率为20～100kHz.试验测量了SPM导电针尖与金属样品之间的电容Ctip与它们之间的距离z关系曲线,并同时通过光学系统测量了针尖的关于频率的一次受力信号Fw与z的关系曲线.我们推导了两种测量方法所获曲线的内在关系,并获得了针尖与样品的表面势之差.最后,我们利用此系统测量了Al0.3Ga0.7N/GaN薄膜的微区C-V曲线,获得和宏观C-V曲线趋势一致的结果.

关键词： 扫描探针显微镜 微区电容 低频测量系统 测量试验

作者: Haoming Sun 孙浩明 Zhihong Wang 王志红 Huizhong Zeng 曾慧中

作者单位: State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Scienc 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 成都 610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 电子科技大学电子科学技术研究院第四届学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 227-229

在线出版日期: 2008-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）