溅射透明导电薄膜-AZO

摘要：

　　本文介绍了TCO透明导电薄膜的应用，TCO(AZO)的性能与优点，溅射TCO(AZO)生产设备与工艺，CVD TCO工艺原理简介以及蚌埠玻璃院AZO生产线。总结了溅射AZO面临的挑战。

关键词： AZO 透明导电薄膜 制备工艺

作者: 徐根宝

作者单位: 蚌埠玻璃工业设计研究院 浮法玻璃新技术国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国硅酸盐学会2012年电子玻璃技术研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 40-51

在线出版日期: 2012-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）