二自由度微定位平台的研制

摘要：

研制了一台压电陶瓷驱动和弹性铰链导向的一体化微定位平台,该微定位平台具有高刚度、高响应速度和高分辨 率等优点。为了克服压电陶瓷驱动器伸长量较小的不足,采用杠杆放大机构增加微定位平台的位移输出。考虑驱动电 路的影响,建立了微定位平台的机电耦合模型。通过试验研究了微定位平台的静动态特性,试验结果表明微定位平台的 分辨率为5 nm ,固有频率分别为143 Hz 和180 Hz。该微定位平台可应用于纳米级的微定位。

关键词： micropositioning table piezoelect ric act uator dynamic performance

作者: 田延岭 张大卫 闫兵

作者单位: 天津大学机械工程学院,天津300072 天津工程师范学院机械工程系,天津300222

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年LMS中国用户大会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 1-6

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）