硅基薄膜太阳电池产业化关键技术研发

摘要：

本文报道了非晶硅/微晶硅叠层电池中试生产线和年产2 兆瓦非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结叠层电池生 产线的研发过程.采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术,成功研发了五室线列式连 续沉积VHF-PECVD 系统和兆瓦级梳状结构的VHF-PECVD 系统.在生产线上,通过优化大面积叠层电池制 造工艺,非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结叠层电池组件效率9.59％(组件面积0.79 m2 ).

关键词： VHF-PECVD 非晶硅电池 非晶硅锗电池 微晶硅电池 叠层电池

作者: 赵颖 庄辉虎 王广才 张超华 陈新亮 孙建 侯国付 王宗畔 黄茜 倪牮 张建军 张晓丹 耿新华 熊绍珍 任慧志 葛洪 魏长春 杨与胜 许盛之 王华峰 张德坤

作者单位: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 福建钧石能源股份有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2012-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）