补偿对铁硼对的影响
本文研究了经过铁沾污的P 型硼-磷补偿晶体硅.我们发现补偿影响了FeB的热力学性质.先用寿命法得到了Fe 浓度随温度的变化,然后比较了从室温到260℃ 这个温度区间里,补偿和非补偿晶体中Fe 浓度曲线的不同.非补偿样品中FeB 的结合能Eb=0.65±0.03 eV,而非补偿和补偿晶体中FeB 对结合能的差别ΔEb=0.06 eV.
compensation Boron-Phosphorus pairs Iron-Boron Pairs minority carrierlifetime
朱笑东 余学功 杨德仁 阙端麟
浙江大学硅材料国家重点实验室 杭州 310027
国内会议
北京
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2012-09-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)