多晶硅太阳能电池酸性制绒工艺改进
本文以自制固体蚀刻剂代替传统HF 制绒工艺,对多晶硅表面的制绒进行研究并优化制绒工艺.固体蚀刻剂和硝酸以合适的比例可以在在常温下进行多晶硅表面制绒,且能在多晶硅片上制备出吸光效果较好的绒面.常温条件下的生产可克服低温生产时对温度需要严格要求的工艺条件.也可有效控制现有常用HF-HNO3 体系制绒工艺中反应释放出的黄烟,适合于实际生产应用并且污染较小,对环境保护有着一定意义.
多晶硅 酸腐蚀 固体蚀刻
强轶 张光华 韩文静
陕西科技大学教育部轻化助剂化学与技术重点实验室,西安 710021
国内会议
北京
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2012-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）