利用碘酒钝化测量晶体硅体少子寿命
利用微波光电导衰减法(μPCD)测量晶体硅的有效少子寿命τeff,采用不同浓度(0.04mol/L~0.4mol/L)的碘酒溶液分别对n 型CZ 硅片和p 型CZ 硅片进行钝化,结果表明：碘酒溶液浓度在0.08mol/L~0.16 mol/L 时,对硅片钝化最为有效,测量有效少子寿命τeff 最高,n 型硅片为973.71μs,p 型硅片为362.6μs；之后采用0.08mol/L 的碘酒溶液对硅片进行钝化,测量了有效少子寿命随时间的衰减规律；并通过对碘酒溶液钝化不同厚度硅片后的有效少子寿命τeff 的测量结合理论计算,获得了硅片的体少子寿命τb.
有效少子寿命 体少子寿命 微波光电导衰减法 碘酒钝化
陈静伟 赵雷 刁宏伟 闫保军 周素 汤叶华 王革 王文静
中国科学院太阳能热利用及光伏系统重点实验室, 中国科学院电工研究所, 北京 100190
国内会议
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2012-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）