晶体硅太阳电池中简易硼扩散方法用于形成均匀发射极研究

摘要：

本文提出了一种利用硼盐酸进行扩散的方法,将旋涂硼盐酸的硅片作为扩散源,在N2 气氛保护下,1020 ℃扩散12 min 所得到的发射极的方块电阻平均值为65 Ω/□,偏差≤4.2 Ω/□,得到的电池的开路电压高于固态硼扩散的开路电压,这种方法与固态硼扩散和液态硼扩散相比还具有扩散温度低、时间短、工艺简单和环境友好等优点,在太阳能电池生产中有巨大的应用潜力.

关键词： 晶体硅 n 型电池 硼扩散 硼盐酸

作者: 张代生 贾锐 陈晨 张巍 孟彦龙

作者单位: 中国科学院微电子研究所,北京市朝阳区北土城西路3 号 , 100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1-3

在线出版日期: 2012-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）