梯度掺杂技术生长绒面结构ZnO-TCO 薄膜及其特性研究
研究适合高效率率宽谱域太阳电池用透明导电氧化物(TCO)薄膜材料是当前光伏领域的研究热点及重点.MOCVD 技术是一种生长太阳电池用绒面结构ZnO-TCO 薄膜的主流技术,绒面结构可以提高薄膜太阳电池效率和稳定性,从而降低生产成本.实验中源材料采用二乙基锌(DEZn)和水(H2O),而掺杂剂硼烷(B2H6)气体.MOCVD 制备绒面ZnO-TCO 薄膜过程中提出一种梯度B 掺杂生长技术,即通过逐渐改变B2H6 的掺杂量改善ZnO 薄膜的在可见光及近红外区域(~380-1500nm)的光学透过特性,并维持较好的电学性能.此外,梯度掺杂技术可以调整ZnO 薄膜的晶粒特征,改善薄膜的光散射特性.通过优化薄膜生长过程,在掺杂量为(0+3.0)sccm 时获得薄膜综合性能相对较好的ZnO:B 薄膜,此时薄膜的方块电阻为~11.9Ω,晶粒尺寸为~500 nm,可见光透过率>85％,近红外区域透过率>80％.此种新型梯度掺杂技术具有良好的工艺兼容性,可适用于于产业化推广应用.
MOCVD ZnO-TCO 薄膜 绒面结构 梯度掺杂技术 薄膜太阳电池
陈新亮 闫聪博 耿新华 杨旭 张德坤 魏长春 赵颖 张晓丹
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所& 南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室& 南开大学光电信息技术科学教育部重点实验室,天津 300071
国内会议
北京
中文
1-3
2012-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）