电极间距对微晶硅薄膜沉积速率及性能的影响*

摘要：

本文在平板电极结构的腔室中,研究了电极间距的变化对微晶硅材料的沉积速率、晶化率和电学性能的影响.研究发现,在一定范围内,通过适当增大电极间距可以有效提高沉积速率,但微晶硅材料的电学性能却受到较大的影响.综合考虑沉积速率和材料性能,在沉积速率为1.5nm/s、电池厚度为1.2μm时,获得转换效率为8.17％单结微晶硅电池.

关键词： 微晶硅电池 平板电极 沉积速率

作者: 杨素素 张晓丹 白立沙 杨旭 魏长春 侯国付 陈新亮 王广才 赵颖

作者单位: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电信息技术科学教育部重点实验室,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津 300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2012-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）