硅烷注入方法的光谱分析及在微晶硅太阳能电池中的应用

摘要：

采用SR500 光谱光度计对VHF-PECVD沉积本征微晶硅薄膜时硅烷不同馈入方式进行了在线监测,并制备了单结微晶硅薄膜太阳能电池.研究发现,相比于硅烷一次性注入,梯度注入时,电子温度缓慢降低,使得Ha*/Hb*和SiH*峰强度逐步升高,且高的Ha*/SiH*比有利于高晶化率界面层的沉积.选择硅烷梯度注入方式沉积本征层,在沉积速率为1nm/s条件下研制备了本征层厚度系列的电池,得到了光电转换效率为7.7％的单结微晶硅薄膜太阳能电池.

关键词： 微晶硅 太阳能电池 光发射谱 高速沉积

作者: 李新利 周建朋 陈永生 卢景霄 杨仕娥 谷锦华 焦岳超 李瑞

作者单位: 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室, 郑州 450052

会议类型: 国内会议

会议名称: 第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2012-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）