热处理对溶胶胶-凝胶法制备ITO 薄膜的光电特性的影响

摘要：

本文是以InCl3·4H2O 和SnCl4·5H2O 为前驱物,利用溶胶-凝胶旋转涂膜法以玻璃为基底制备掺锡氧化铟透明导电薄膜(即ITO 薄膜).分别采用四探针电阻测试仪、紫外可见分光光度计和X-射线衍射仪等对ITO 薄膜的方块电阻、透射谱和物相组分进行测量与表征.研究了不同热处理温度和不同热处理时间对ITO 薄膜的光电特性的影响.实验结果表明,ITO 薄膜的方块电阻和可见光透射率都与热处理温度和时间有关,且最佳热处理温度为450℃,热处理时间为60min,其方块电阻为284Ω/□,透射率为92.32％.

关键词： sol-gel ITO thin film optical properties electrical properties

作者: 张丽丽 周炳卿 张林睿 金志欣 李海泉

作者单位: 内蒙古师范大学物理与电子信息学院,功能材料物理与化学自治区重点实验室,呼和浩特010022

会议类型: 国内会议

会议名称: 第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2012-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）