衬底温度对磁控溅射制备CdTe/ZnTe 多层膜性能的影响

摘要：

利用射频磁控溅射技术,在不同的衬底温度下,在普通玻璃和石英玻璃衬底上沉积了CdTe/ZnTe 多层薄膜.利用X 射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的结构、形貌特性进行了表征.采用紫外-可见光分光光度计,研究了温度对薄膜光学性能的影响.在普通玻璃和石英玻璃衬底上沉积的CdTe/ZnTe 多层薄膜,均为六角、立方晶系的多晶结构；温度升高,可见光吸收边向长波移动；衬底沉积温度越高,其表面颗粒越均匀.

关键词： magnetron sputtering substrate temperature CdTe/ZnTe multi-layers thin films

作者: 肖心举 黎兵 胡鹏臣 江海波 杨慧敏 冯良桓 张静全 武莉莉 李卫

作者单位: 四川大学太阳电池材料与器件研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2012-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）