亚层厚度对磁控溅射制备CdTe/ZnTe 多层薄膜性质的影响

摘要：

利用磁控溅射法在室温、Ar 气氛下,制备了相同周期不同亚层厚度的CdTe/ZnTe 多层薄膜,对样品进行了SEM、XRD、透过谱等性能测试.SEM 结果表明所制备的CdTe/ZnTe 多层薄膜的各分层界面比较清晰,且相邻亚层之间无互扩散.XRD 图谱显示在所制备的CdTe/ZnTe多层薄膜中,ZnTe 为非晶相、CdTe 为多晶相,且随着CdTe 亚层厚度的不断减小,所制备的多层薄膜中出现了立方CdTe 向六方CdTe 转变的趋势.透过谱表明所制备的CdTe/ZnTe 多层薄膜的吸收边比较陡峭,且对600~900nm 波长范围内的光有强烈的吸收.

关键词： CdTe/ZnTe multi-layers thin films Sub-layer thickness magnetron sputtering

作者: 胡鹏臣 黎兵 冯良恒 张静全 武莉莉 李卫 杨慧敏 海波 肖心举

作者单位: 四川大学太阳能材料与器件研究所,成都 610064

会议类型: 国内会议

会议名称: 第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1-6

在线出版日期: 2012-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）