沉积功率对CdTe/ZnTe 多层薄膜结构及光学性质的影响
本实验采用射频磁控溅射法在室温的条件下在玻璃衬底上制备了CdTe/ZnTe 多层薄膜,研究了沉积功率对CdTe/ZnTe 多层薄膜性质的影响.利用X 射线衍射(XRD)、紫外—可见光分光光度计、扫描电子显微镜观察CdTe/ZnTe 多层薄膜截面的结构和性能进行了测试.结果表明：不同功率制备的CdTe/ZnTe 多层薄膜其结构基本相同,CdTe 为立方相,沿(100)择优取向,ZnTe 为立方相,在沉积功率较大时还出现了六方向；在沉积功率为8W 的条件下制备的CdTe/ZnTe 多层膜对可见光具有较好的吸收性,在透过谱中出现明显的台阶；并且CdTe/ZnTe 多层膜分层明显.这种多层薄膜适于用作太阳电池.
CdTe/ZnTe多层薄膜 磁控溅射
杨慧敏 黎兵 冯良桓 江海波 胡鹏程 肖心举
四川大学材料科学与工程学院,成都 610064
国内会议
北京
中文
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2012-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）