磁控溅射法制备铜锌锡硫薄膜及其性能研究
采用固相反应法制备了铜锌锡硫四元化合物靶材,利用该靶材在玻璃衬底上通过射频溅射方法沉积得到了铜锌锡硫(CZTS)薄膜.利用X 射线衍射仪(XRD)对薄膜样品的结构进行了表征,采用紫外-可见-近红外分光光度计对薄膜样品的光学性能进行了测试分析,研究了溅射气压与退火条件对样品的晶体结构、光吸收系数和禁带宽度等性能的影响关系.
射频磁控溅射 铜锌锡硫(CZTS) 太阳能电池 固相反应法
张基东 杨海刚 宋桂林 王天兴 郝瑞亭 常方高
河南师范大学物理与信息工程学院,河南省光伏重点实验室 河南 新乡 453007 云南师范大学太阳能研究所 云南 昆明 650092
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2012-09-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)