TiO2/SiO2 双层减反射膜的制备工艺及其性能研究
采用真空电子束蒸发法制备TiO2/SiO2 双层减反射膜,实现宽波段范围内的低反射率,以满足砷化镓三结太阳电池对入射光的需求.主要研究了基片温度、电子束流和充氧量对TiO2、SiO2 单层膜性能(膜层厚度、折射率)的影响.研究过程中,按照三因素两水平的正交实验进行,用分光光度计对TiO2、SiO2 薄膜样品的折射率进行测试.实验结果显示,两种氧化物介质膜的折射率均随基片温度和束流的升高而增加,随氧压的升高而降低,工艺参数对TiO2 膜性能影响较大.
double-layer antireflective coatings e-beam evaporation technologicalparameter refractive index
白红艳 涂洁磊 肖祥江 付蕊 赵沛坤 李烨
教育部可再生能源材料先进技术与制备重点实验室,云南 省农村能源工程重点实验室,云南 师范大学太阳能研究所,昆明 650092
国内会议
北京
中文
1-7
2012-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）