不同基体上沉积类金刚石膜的摩擦磨损性能研究

摘要：

采用脉冲辉光放电等离子体气相沉积法和阴极弧放电方法分别以硬质合金K10、硅片、Gcr15钢和316LN不锈钢作为基体,在其表面成功沉积性能优越的DLC膜.利用拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪、光学显微镜、显微硬度计和摩擦磨损试验机分别对膜层组成和微观结构及力学性能进行了表征.研究发现:通过该种方法可以在不同基体上制备表面光滑致密、摩擦系数低至0.099、sp3含量高达60.7％的DLC膜.无论哪种基体,经过沉积DLC膜后,表面摩擦磨损性能都有较大幅度的提升.

关键词： diamond like carbon (DLC) films plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) friction and wear properties

作者: 杨发展 沈丽如 颜复秀 陈庆川 王世庆

作者单位: 核工业西南物理研究院,四川成都,610041 核工业西南物理研究院,四川成都,610041 成都理工大学工程技术学院,四川乐山,614000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国核学会2011年年会

会议地点: 贵阳

会议语种:中文

页码: 1-6

在线出版日期: 2011-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）