微分子螢光感測技術在微系統實驗量測的開發
本研究旨在将微分子萤光感测技术以光化学方式应用在微系统实验量测,透过此技术可提供系统内整体性压力分布。传统上量测微流道系统里的压力分布,须要以相当复杂的制程方式分散地安置压力量测点;相反的,萤光分子感测方法以简易的制程选用适当的萤光分子即可提供微系统/微流道内全域的压力分布。虽然微萤光分子感测方法已发展10年以上,但将其应用在微系统内做流场量测却是这几年较新的议题。所以此技术在微尺度下的研究仍然需要努力。在本研究中,已就萤光分子物理与化学的特性进行分析,搭配不同的化学溶剂,与适当的黏着剂开发出一套可以运用在微流道当中的压力感测萤光涂料,并且同时讨论测量的方法与机制,有效地增加量测的准确性与有效的量测范围。
微系统 荧光材料 感测技术 压力分布
賴智敏 黃智永
新竹清華大學動力機械工程學系
国内会议
北京
中文
204-211
2012-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)