金刚石在太赫兹电真空器件输能系统中的应用

摘要：

　　输能窗是太赫兹电真空器件一个非常关键的部件。它需要有良好的匹配性能使得太赫兹波能够顺利进入慢波结构与电子注发生互作用并将放大的太赫兹波输出。同时它还必须有有良好的封接性能保证器件结构可靠和真空密封。金刚石材料具有低的介电常数、小的微波损耗、良好的导热性能，成为太赫兹电真空器件发展过程中一种非常有研究和应用价值的材料。本文介绍了微波辅助化学气象沉积(MPCVD)金刚石材料的制备过程、封接工艺、在太赫兹电真空器件中的具体应用实例以及在W波段行波管中的实际应用情况。

关键词： 电真空器件 太赫兹技术 金刚石 输能系统

作者: 胡银富 丁明清 李莉莉 杜英华 蔡军 唐烨 冯进军

作者单位: 中国电子科技集团公司第十二研究所微波电真空器件国家级重点实验室 北京 100015

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国太赫兹科学技术与应用学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 202-212

在线出版日期: 2012-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）