UV-LIGA技术加工340GHz行波管折叠波导慢波结构的研究

摘要：

　　UV-LIAG技术是制作太赫兹真空电子器件(包括谐振腔，电子注通道和输出波导等)的方法之一，本文研究了在UV-LIAG技术中，曝光量对SU-8胶模的影响分析原因，得出最佳工艺，并对340GHz的折叠波导进行了初步的实验研究。

关键词： 折叠波导行波管 慢波结构 太赫兹波 UV-LIAG技术

作者: 李含雁 白国栋 李兴辉 蔡军 胡银富 冯进军

作者单位: 中国电子科技集团公司第十二研究所微波电真空器件国家级重点实验室 北京 100015

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国太赫兹科学技术与应用学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 220-223

在线出版日期: 2012-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）