太赫兹MEMS滤波器性能影响因素

摘要：

　　本文对太赫兹MEMS滤波器进行了简单介绍并分析了对其性能造成影响的参数，且对这些参数的工艺误差进行了仿真。结合了设计仿真与工艺结果并进行整体分析，提出有效的解决方案，提高太赫兹MEMS滤波器的成品率和性能参数。

关键词： 滤波器 太赫兹波段 工艺参数 数值仿真 性能优化

作者: 崔博华 王成 郑英彬

作者单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所 四川 绵阳 621900 中国工程物理研究院太赫兹研究中心 四川 绵阳 621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国太赫兹科学技术与应用学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 388-392

在线出版日期: 2012-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）