基于温差式流量传感器的微泵流量检测系统设计

摘要：

　　为了进行无阀微泵流量的检测，本文设计了基于硅基温差式流量传感器的流量检测系统，搭建了微泵芯片流量检测平台。利用微注射泵对检测系统的输出电压和流量进行了标定，得到了系统的电压，流量实验曲线，通过对曲线进行分析和拟合，得到了电压与流量的关系式，并由此确定了系统的流量检测范围。研究结果表明，本文设计的流量检测系统灵敏度较高，稳定性好，流量检测范围符合常规微泵的输出流量，适合用于微泵的流量检测。

关键词： 无阀微泵 流量检测系统 传感器 系统设计 现场可编程阵列

作者: 肖良平 闫卫平 曹暾 徐迎华 郭立

作者单位: 大连理工大学 电子科学与技术学院 大连 116024 大连理工大学生物医学工程系 大连 116024

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 250-253

在线出版日期: 2012-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）