基于PDMS薄膜的热驱动式微阀仿真分析

摘要：

　　利用ANSYS10.0软件对热驱动式PDMS微阀进行了热-结构耦合仿真，分别对不同结构尺寸的加热器、腔体结构及PDMS薄膜进行仿真，得到了微阀的优化结构参数。仿真结果表明：加热器电阻条宽度与间距的减小更有利于热量的集中，当达到0.4mm以后其温度分布基本保持不变；随着腔体半径的增加，PDMS薄膜的挠度明显提高；伴随PDMS薄膜厚度的增加，薄膜的轴向位移出现不规则变化。本文的仿真结果为基于PDMS薄膜的热驱动式微阀设计提供了有价值的参考数据。

关键词： 热驱动微阀 结构分析 仿真分析 聚二甲基硅氧烷薄膜

作者: 郭玲 闫卫平 曹暾

作者单位: 大连理工大学 电子科学与技术学院 大连 116024 大连理工大学生物医学工程系 大连 116024

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 254-257

在线出版日期: 2012-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）