AFM检测模块中PSD信号处理电路设计

摘要：

　　为提高AFM对基底的扫描速度和成像分辨率，选用了一种新型的位置敏感器件，设计了一套基于高速差分放大器的PSD信号采集模块，该模块具有体积小、结构合理、受地面噪声干扰小等优点。为便于分析，实验中，用数字源表提供单路电流，将PSD信号采集模块的差分输出与单端输出结果进行比较，同时对实验数据做频谱分析与线性度分析，实验证明：基于高速差分放大器的差分输出电路满足AFM对PSD模块在带宽、噪声、线性度等设计方面的要求。

关键词： 光电位置敏感器件 信号处理电路 高速差分放大器 信号采集

作者: 刘小进 石振刚 田孝军 王栋 周磊

作者单位: 沈阳理工大学 沈阳 110016 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室 沈阳 110016 沈阳理工大学 沈阳 110016 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室 沈阳 110016

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 291-294

在线出版日期: 2012-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）