不同金属离子沉积对多孔硅气敏特性的研究
本实验通过双槽电化学腐蚀法生长多孔硅(PS),采用浸渍沉积法分别制备纳米Cu、Ag、Zn/多孔硅复合气敏薄膜,进而制成电阻式气体传感器,分别对其进行气敏性能测试。研究结果表明,Cu/多孔硅元件对甲醛、氨气、乙醇三种气体都敏感,灵敏度较好,但选择性很差;Ag/多孔硅元件对甲醛气体很灵敏且对其它两种气体都有不敏感,表现出良好的选择性:Zn/多孔硅敏感性较差,对甲醛和乙醇都不敏感,对氨水有一定的敏感性。
纳米多孔硅 浸渍沉积法 金属离子 气敏性测试
李绍元 马文会 陈秀华 魏奎先
昆明理工大学真空冶金国家工程实验室,云南 昆明 650093 昆明理工大学云南省高校硅冶金与硅材料工程研究中心,云南 昆明 650093 云南大学材料科学与工程学院,云南 昆明 650091
国内会议
昆明
中文
667-670
2012-08-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)