磁流变加工对中频误差的影响
本文基于传统抛光的亚表面损伤层厚度，进行磁流变去除亚表面损伤层的实验以便验证在该加工方式下对元件中频误差的影响。计算机模拟结果及实验数据表明：磁流变加工的走刀间距会引起中频误差评价指标PSD曲线出现对应频率的峰值；抛光斑的不稳定性会引起PSD曲线出现不确定的次主峰；去除深度与PSD曲线峰值之间有近似的线性关系。采用磁流变作为亚表面损伤层的去除手段，元件的中频误差质量受加工参数影响很大。如果前级加工不佳导致留下的亚表面损伤层较深，用磁流变加工进行去除时会造成中频误差质量超过限定指标。
光学元件 中频误差 磁流变加工 抛光技术 亚表明损伤层 仿真模拟
徐曦 杨李茗 石琦凯 雷向阳 侯晶
成都精密光学工程研究中心，成都 610041
国内会议
成都
中文
1695-1699
2011-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）