膜厚对导电氧化锌宽带抗反射涂层的太赫兹传输影响

摘要：

　　利用直流磁控溅射方法，在石英基底上制备了可用于太赫兹电磁波频率范围内的宽带抗反射涂层的掺铝氧化锌导电薄膜。在太赫兹时域光谱频率0.1～1.0THz范围内研究不同厚度的氧化锌薄膜的介电响应，得到了与频率相关的电导率、吸收和薄膜折射率，着重研究了膜厚对太赫兹波传输特性的调制作用。实验结果很好地符合了经典的Drude模型，表明可以通过控制氧化锌薄膜的厚度来改变太赫兹波的传输特性，并且导电氧化锌薄膜能够作为太赫兹频段范围的宽带抗反射涂层应用于衬底和光学器件上。

关键词： 导电氧化锌膜 半导体材料 太赫兹波 时域光谱 薄膜厚度 传输性能

作者: 罗胜耘 沈杰 马国宏 李栋

作者单位: 复旦大学材料科学系 上海 200433 贵州民族学院理学院 贵阳 550025 复旦大学材料科学系 上海 200433 上海大学物理系 上海 200444

会议类型: 国内会议

会议名称: TFC‘2011全国薄膜学术研讨会

会议地点: 南昌

会议语种:中文

页码: 717-721

在线出版日期: 2011-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）