多压电层对薄膜体声波传感器谐振特性的影响

摘要：

　　本文将针对三明治型薄膜体声波传感器，通过对多层压电薄膜激发体声波的传感器进行分析，研究两层压电薄膜和三层压电薄膜的激发声波谐振特性，并对其主要性能指标(如：谐振频率，谐振品质因子等)进行考察。

关键词： 薄膜体声波传感器 多压电层 谐振模式 性能指标

作者: 张辉 冯梓鑫 张淑仪

作者单位: 南京大学声学研究所近代声学实验室，南京，210093

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国声学学会2010年全国会员代表大会暨学术会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 164-165

在线出版日期: 2010-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）