径向分层媒质的扫描电子声成像机理初探

摘要：

　　本文利用蒙特卡洛方法模拟了电子束入射在径向分层结构样品中所形成的热源，并在此基础上利用有限元方法模拟了热源在样品中所形成的温度场以及温度梯度场。模拟结果显示，径向分层结构界面上存在着温度梯度的突变，可能产生较强的电子声信号。同时对径向分层试样进行了SEAM成像实验，在界面处得到了较强的SEAM反差。

关键词： 扫描电子声成像 径向分层结构 蒙特卡洛方法 能量沉积 温度场 温度梯度场

作者: 陈慧 钱梦騄

作者单位: 同济大学声学研究所，上海 200092

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国声学学会2010年全国会员代表大会暨学术会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 174-175

在线出版日期: 2010-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）