一种基于剪切型声表面波陀螺效应的角速率传感器

摘要：

　　本文研制了一种80MHz SH-SAW角速率传感器。具有单向结构的双延迟线反向设置于同一基片作为振荡器的反馈单元。利用精确旋转台系统对传感器性能进行了初步评价。

关键词： 角速率传感器 剪切型声表面波 陀螺效应 器件设计

作者: 王文 李顺洲 刘明华

作者单位: 中国科学院声学研究所，北京，100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国声学学会2010年全国会员代表大会暨学术会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 466-467

在线出版日期: 2010-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）