稀土抛光粉的产业现状及发展方向

摘要：

　　稀土抛光材料是一个非常重要的应用领域，涉及半导体制造(浅草隔离的CMP )，光学器件以及平板玻璃的精密加工(LCD, TFT, STN )，硬盘基材的平坦化等(GHD)。本文从生产工艺、质量管理、市场需求、产品性能指标、成本控制等几个方面对稀土抛光粉产业发展进行了阐述。

关键词： 稀土抛光粉产业 市场需求 成本控制 质量管理 性能指标

作者: 伯纳德·帕库

作者单位: 罗地亚稀土事业部

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届中国包头·稀土产业(国际)论坛

会议地点: 包头

会议语种:中文

页码: 176-178

在线出版日期: 2012-08-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）