镀膜工艺对钛膜组织结构的影响研究-Ⅰ

摘要：

　　本研究工作采用XRD、SEM对电阻镀膜工艺和电子枪镀膜工艺制备的Ti膜的晶体结构、显微组织结构、织构和表面形貌进行了对比分析。重点针对电阻镀膜工艺，探索研究了底衬取向、底衬粗糙度和底衬温度等参数对其制备薄膜的结构、形貌和织构的影响。

关键词： 钛膜 镀膜工艺 结构分析 技术参数

作者: 周晓松 刘锦华 王海峰 刘琼

作者单位: 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 四川绵阳 621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国核靶技术学术交流会

会议地点: 云南腾冲

会议语种:中文

页码: 68-69

在线出版日期: 2011-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）