化学流体沉积技术制备金属涂层

摘要：

　　本文介绍了运用化学流体沉积技术(CFD)，制备高质量金属薄膜(镀层、涂层)和金属纳米粒子的方法。该技术以超临界流体为介质，还原金属有机化合物，得到金属涂层或纳米材料，具有保形性好，涂层内部应力小，纯度高，称底温度底，可在复杂表面涂层等优点。

关键词： 金属薄膜 纳米粒子 化学流体沉积技术 冷壁式反应装置 技术分析

作者: 张占文 王燕磊 陈素芬 漆小波 李波

作者单位: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 四川 绵阳 621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国核靶技术学术交流会

会议地点: 云南腾冲

会议语种:中文

页码: 77-78

在线出版日期: 2011-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）