三倍频射频功率源对GDP及Br-GDP薄膜热稳定的影响研究

摘要：

　　本文采用RF-PECVD方法，以溴乙烷(C2H5Br)、反式-2-丁烯(T2B)为单体，氢气(H2)为载气，13.56MHz, 40.68MHz高频电源为功率源，利用美国TA公司SDT Q600同步热分析仪对系列Br-GDP薄膜进行热稳定性分析。考察结果显示：40.68MHz进口电源对Br-GDP薄膜热稳定性提高有所帮助，结合实验参数条件的调节有望将Br-GDP薄膜热稳定性由目前的100℃左右提高至200℃左右甚至更高。

关键词： 复合薄膜 热稳定性能 三倍频射频功率 技术参数

作者: 冯建鸿

作者单位: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 四川绵阳 621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国核靶技术学术交流会

会议地点: 云南腾冲

会议语种:中文

页码: 118-119

在线出版日期: 2011-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）