亚微米聚酰亚胺薄膜的制备工艺优化

摘要：

　　通过旋涂制备酰胺酸薄膜，在氮气下高温酸亚胺化制备了聚酰亚胺薄膜。考察了溶液浓度以及旋涂速度对薄膜厚度的影响，获得了厚度约400nm均匀性95%的薄膜。与09年制备的薄膜相比厚度和均匀性(90%)均获得了很大的提高。

关键词： 亚微米聚酰亚胺薄膜 旋涂法 溶液浓度 技术优化

作者: 朱方华 尹强 周兰 张林

作者单位: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 四川绵阳 621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国核靶技术学术交流会

会议地点: 云南腾冲

会议语种:中文

页码: 141-141

在线出版日期: 2011-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）