Al掺杂ZnO薄膜的制备及红外光学性能的研究

摘要：

　　采用溶胶-凝胶法合成Al掺杂ZnO胶体，通过浸涂法在石英衬底上制备不同退火温度的ZAO薄膜。通过XRD、FT-IR、IR-2型红外辐射仪等手段对薄膜进行表征并研究不同工艺条件对薄膜红外性能的影响。结果显示，Al的掺杂并未改变ZnO的晶型结构，薄膜材料具有沿(002)晶面趋向性生长的特点。ZAO薄膜在可见光区具有高透过率，平均透过率在80％左右，在红外波段具有较高的透过率，所得到的ZAO薄膜在红外波段具有较低的发射率。

关键词： 薄膜材料 制备工艺 溶胶-凝胶法 红外光学性能

作者: 封宾 何大伟 富鸣 杜玛璠 鞠长滨 王永生

作者单位: 北京交通大学，发光与信息技术教育部重点实验室，北京 100044

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国高技术陶瓷学术年会

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 762-766

在线出版日期: 2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）