退火对氧化钒薄膜成分及热敏性能的影响
在衬底上溅射沉积一层金属钒膜，然后对其退火制备氧化钒薄膜。研究了原位退火热处理和后续退火热处理对氧化钒薄膜成分及其热敏性能的影响。XPS分析表明，原位380℃退火处理得到的氧化钒薄膜中4价态和5价态钒的比例为1.097：1，经后续退火处理后，该比例变为0.53：1；同时，原位退火处理得到的氧化钒薄膜的V／O比为1：2.24，经后续退火处理变为1：2.33。AFM分析后显示，经后续退火处理的薄膜晶粒尺寸有所增大。测试了薄膜方阻随温度的变化，结果显示，生成的薄膜具有明显的金属．半导体相变；原位退火热处理后的薄膜方阻(R)为5.46 kΩ／□(25℃)，方阻温度系数(TRC)为-1.5％／℃(25℃)；后续退火热处理后，薄膜方阻增大到231 kΩ／□(25℃)，方阻温度系数升高为-2.74％／℃(25℃)。此外，就氧化钒薄膜的成分、热敏性能与退火处理之间的关系进行了讨论。
电工材料 氧化钒薄膜 退火处理 成分分析 热敏性能
魏雄邦 蒋亚东 吴志明 廖家轩 贾宇明 田忠
电子科技大学，四川成都 610054
国内会议
沈阳
中文
951-954
2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）