退火温度和匀胶速率对SrBi3.88Nd0.12Ti4O15薄膜铁电性能的影响

摘要：

　　用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了SrBi3.88Nd0.12Ti4O15铁电薄膜材料，研究了退火温度和匀胶速率对铁电薄膜材料结构、铁电性能的影响。退火温度为750℃、匀胶速率为3000r/min薄膜样品为纯的铋层状钙钛矿结构且没有其它杂相出现，α轴取向的晶粒较多，铁电性能较好，剩余极化强度和矫顽场分别为2Pr=26.7μC/cm2、2Ec=80kV/cm.

关键词： 铁电薄膜材料 制备工艺 退火温度 匀胶速率

作者: 张丰庆 范素华 马建平 车全德 于冉

作者单位: 山东建筑大学，山东济南 250101

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国高技术陶瓷学术年会

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 260-262

在线出版日期: 2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）