TiO2薄膜成分和结构分析及其对折射率的影响

摘要：

　　在硅衬底上利用电子束蒸发沉积了TiO2薄膜，利用椭圆偏振仪测量了不同沉积温度下的TiO2薄膜的折射率，发现其折射率随着沉积温度的升高而升高。利用X射线衍射(XRD)仪对这些薄膜的结构进行表征，发现折射率高的样品其结晶化程度也高。利用X射线光电子能谱(XPS)和傅立叶红外吸收谱(FT-IR)相结合的方法对薄膜的成分进行分析，发现内部存在低价态的钛氧化物，使薄膜的折射率明显低于固体块材料的折射率。

关键词： 二氧化钛薄膜 化学成分 结构分析 折射率

作者: 刘成士 伍登学 赵利利 廖志君 卢铁城

作者单位: 四川大学辐射物理与技术国家教育部重点实验室，四川成都 610064 四川大学辐射物理与技术国家教育部重点实验室，四川成都 610064 中科院国际材料中心，辽宁沈阳 110015

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国高技术陶瓷学术年会

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 575-578

在线出版日期: 2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）