二氧化铪(HfO2)薄膜的自组装制备
以Hf(SO4)2·4H2O和HCl配制HfO2前驱液，利用自组装单层膜技术，在OTS自组装单层膜的功能性基团表面制备品态二氧化铪薄膜。研究了HfO2前驱液的浓度，退火温度和有机硅烷单分子层等对HfO2薄膜制备的影响。通过接触角测量仪，XRD和SEM等表征手段，对薄膜表面形貌、微观结构、物相组成进行分析。结果表明：基板在OTS溶液中浸泡为20 min时，有机层表面接触角最大为(110±2)°。利用自组装单层法成功制备出HfO2晶态薄膜，HfO2呈立方型，无其他杂相。膜层表面致密均一，生长良好。
二氧化铪薄膜 制备工艺 表面形貌 微观结构
贺中亮 谈国强 苗鸿雁 刘剑 夏傲 梁东
陕西科技大学，陕西西安 710021
国内会议
沈阳
中文
609-612
2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）