Y掺杂BST薄膜介电性能研究
用改进溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si上制备了钇(Y)掺杂Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜，研究了Y掺杂对BST薄膜表面结构和介电性能的影响。XPS结果表明，Y掺杂有利于薄膜钙钛矿结构的形成，但对氧空位没有明显的抑制作用。SEM和AFM结果表明，Y掺杂能缓解薄膜应力、减少薄膜裂纹、细化晶粒，进而改善薄膜的表面结构。在进行Y掺杂后，薄膜的介电性能得到明显提高，40V外加电压下的介电调谐率大于40％及零偏压下介电损耗为0.0210，优化因子大于20。
钛酸锶钡薄膜 制备工艺 介电性能 掺杂效应
潘笑风 廖家轩 王洪全 张佳 傅向军 魏雄邦
电子科技大学，四川成都 610054
国内会议
沈阳
中文
621-623
2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）