铈掺杂钛酸锶钡薄膜的结构及介电性能
用改善的溶胶凝胶法制备铈掺杂钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3，BST)薄膜，研究其结构与介电性能.X射线光电子能谱表明，铈掺杂显著地减少了薄膜表面非钙钛矿结构。但是， 由于掺杂薄膜较薄且掺杂量小，X射线衍射结果未见明显变化。原子力显微镜结果表明，掺杂BST薄膜表面光滑致密。掺杂BST薄膜的介电性能大幅度提高，在40V外加电压下介电调谐率达60.8％，零偏压下的介电损耗为0.0265。同时，就有关结构及介电性能改善的机制进行了讨论。
钛酸锶钡薄膜 结构分析 介电性能 掺杂效应
傅向军 廖家轩 张佳 潘笑风 王洪全 魏雄邦
电子科技大学，四川成都 610054
国内会议
沈阳
中文
624-626
2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）