表面等离子共振传感器金属膜的优化设计分析

摘要：

　　基于表面等离子共振（SPR）传感器的理论模型，阐述了金属膜选择对传感器性能的影响。采用MATLAB数值模拟，比对分析了Au、Ag两种材料对于角度调制型SPR传感器性能影响，相应最佳厚度分别为52nm、38nm。根据Au、Ag各自特性，提出了一种Ag+Au复合膜结构的设计。通过对该复合膜结构SPR传感器性能的数值分析结果可知复合膜总厚度为50nm（Ag膜厚度20nm），可以改善传感器的性能。

关键词： 传感器 金属膜 优化设计 等离子体 数值模拟

作者: 陈惠滨 魏文才 林少芬 江小霞

作者单位: 集美大学信息工程学院, 福建厦门 361021 集美大学轮机工程学院, 福建厦门 361021

会议类型: 国内会议

会议名称: 第23届过程控制会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2012-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）