LCD真空贴合基板粘附和剥离单元的研制

摘要：

　　介绍了AESUV-110LCD真空贴合装置的构成和工艺流程，分析ESC定盘存在的问题，优化了真空贴合工艺流程。设计并测试完成了新型的基板粘附和剥离单元，确认其结构和性能满足使用要求。

关键词： 液晶显示器 真空贴合基板 ESC定盘 粘附单元 剥离单元

作者: 盛洪奇 季卫坤 张青

作者单位: 上海交通大学 上海 200240

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012中国机构与机器科学国际会议

会议地点: 黄山

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2012-07-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）